走査電子顕微鏡に組み込むエネルギー分散形X線分析装置（EDS)で、JEOLの開発したアナリシスステーションで多点分析、分析元素の分布のマッピングなどを、本体装置から効率よくデータ取得できます。
アナリシスステーション
- SEM と EDS とのインテグレーションシステム
- 「画像中心の観察分析・融合システム」を、基本コンセプトとして、モータ駆動ステージと連動させることで広領域の観察と分析を行います。
- 広領域の観察分析の効率を高めるために「簡易モンタージュ」や「ピンポイントナビ」を開発
- 複数の視野に跨る、点 ・ エリア分析 ・ 元素マッピングの連続実行、広領域元素マッピング、そして、それらにより生成されるデータファイルの一元管理を行います。
検出器一覧
| 検出器の種類 |
エネルギー分解能 |
P/B |
検出元素 |
液体窒素容量 |
検出器出入 |
ドライSD
ハイパー |
133eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
液体窒素レス |
手動 |
ドライSD
エクストラ |
129eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
液体窒素レス |
手動 |
| ミニカップ |
138eV以下 |
10,000/1 |
Na〜U |
1.0L
(使用時のみ) |
手動 |
ウルトラ
ミニカップ |
138eV以下 |
10,000/1 |
B〜U |
1.0L
(使用時のみ) |
手動 |
ハイパー
ミニカップ |
133eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
1.0L
(使用時のみ) |
手動 |
エクストラ
ミニカップ |
129eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
1.0L
(使用時のみ) |
手動 |
| ナイン |
138eV以下 |
10,000/1 |
Na〜U |
9.5L |
手動 |
| ウルトラナイン |
138eV以下 |
10,000/1 |
B〜U |
9.5L |
手動 |
| ハイパーナイン |
133eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
9.5L |
手動 |
| エクストラナイン |
129eV以下 |
10,000/1 |
Be〜U |
9.5L |
手動 |
主な仕様
I：標準モデル、II：マップモデル、III：モンタージュモデル、IV：粒子解析モデル、V：広領域粒子解析モデル
●組込み ○オプションで追加可
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機 能 |
I |
II |
III |
IV |
V |
※注 |
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パーソナル
コンピュータ |
OS Microsoft Windows XP 以上
マルチユーザ対応 |
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操作メニュー |
日本語/英語 |
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検出器 |
検出器一覧より選択 |
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スペクトル分析 |
定性/定量分析（ZAF法/TEM用薄膜定量法） |
● |
● |
● |
● |
● |
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| ビジュアルピークID（VID） |
● |
● |
● |
● |
● |
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| 薄膜試料の分析 |
● |
● |
● |
● |
● |
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| ケミカルタイプ分類とQBase（スペクトラムマッチング） |
● |
● |
● |
● |
● |
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| 計数率とデッドタイムのリアルタイム表示 |
● |
● |
● |
● |
● |
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報告書作成 |
ワンクリックレポート |
● |
● |
● |
● |
● |
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| スマイルビュー |
● |
● |
● |
● |
● |
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| Word、PowerPointへの出力 |
● |
● |
● |
● |
● |
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SEM
インテグレーション |
測定条件の自動取得（倍率、加速電圧、ステージ座標） |
● |
● |
● |
● |
● |
1 |
| SEM WD監視 |
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● |
● |
● |
● |
2 |
| SEMの操作画面で分析位置を指定（SEMのGUI上からダイレクト分析） |
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● |
● |
● |
● |
2 |
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ヘルプ機能 |
分析アシスト |
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● |
● |
● |
● |
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アナリシス
ステーション |
EDSモニタ上から分析を開始(取得画像上での任意分析位置指定） |
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● |
● |
● |
● |
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線分析 |
線分析・定量線分析 |
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● |
● |
● |
● |
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| アクティブマップライン |
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● |
● |
● |
● |
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元素マップ |
元素マップ(アクティブマップ、3原色表示、プローブトラッキング) |
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● |
● |
● |
● |
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| 高精細画像(電子顕微鏡像、元素マップ像共に4096×3072画素) |
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● |
● |
● |
● |
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| イーグルアイ |
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● |
● |
● |
● |
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| ポップアップスペクトル |
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● |
● |
● |
● |
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| 定量マップ |
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● |
● |
● |
● |
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| 残渣マップ |
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● |
● |
● |
● |
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|
複数視野にわたる分析 |
分析位置のグラフィック表示、ナビゲーション、自動連続分析、ピンポイントナビ、分析データ管理 |
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● |
● |
● |
3 |
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複数視野にわたる自動連続分析 |
自動モンタージュ(SEM像、マップ像) |
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● |
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● |
3 |
| 複数視野にまたがる連続元素マップ |
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● |
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● |
3 |
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粒子解析 |
粒子解析(自動/手動) & EDS分析 |
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● |
● |
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| 粒子解析データの統計処理(分析結果、粒子経、面積他) |
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● |
● |
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| 複数視野にまたがる連続粒子解析 & EDS分析 |
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● |
4 |
| パーティクルファインダ |
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● |
4 |
| マニュアルレビュー |
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● |
4 |
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ガンショット残渣(GSR)分析 |
ガンショット残渣(GSR)自動分析 (GSR解析用サンプル) |
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● |
4、5 |
|
PHI-RHO-Z法 定量補正法 |
軽元素領域での補正計算精度の向上が期待できる定量補正法 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
|
試料照射電流読取機能 |
試料照射電流読み取り、変動補正 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
6 |
| ユーザースタンダードの作成 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
6 |
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スイングマウス |
PC2台(SEM&EDS)を1組のマウス&キーボードで操作 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
7 |
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多元系自動相分析 |
多元系自動相分析 |
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○ |
○ |
○ |
○ |
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オフライン解析 |
装置以外のパソコンでデータ解析可能なライセンスソフトウェア |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
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※1) 電子顕微鏡本体のパソコンとの接続時のみ可能です。
※2) JCM-5700、JSM-6510/JSM-6610のA/LAタイプのみ。
※3) モーター駆動ステージの装着されたSEMで可能です。
※4) X、Y、Zの3軸モーター駆動ステージの装着されたSEMで可能です。
※5) GSRユニット（オプション）が必要です。
※6）照射電流補正ユニット（オプション）が必要です。照射電流の自動読取は、電子顕微鏡本体のパソコンとの接続時に限ります。JSM-7001F/7500F/
7600Fに装着する場合は、本ユニットは不要です。
※7）JCM-5700、JSM-6510/JSM-6610のA/LAタイプでは不要です。
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