○：取り付け可能　-：取り付け設定無し　△：制限あり

試料加熱

試料に直接通電する直接通電加熱ホルダ（標準構成）や、PG(Pyrolytic Graphite)ヒータを用いた傍熱加熱ホルダ（オプション）を用いることで、試料の熱処理や温度を保持しての高温観察が可能となります。

試料冷却

冷却ステージを用いることで、試料の低温観察が可能となります。冷却ステージは液体ヘリウムと液体窒素による二層冷却方式であり、ドリフトフリーステージと相まって冷却効率の良い、安定した試料冷却が可能です。

STM専用機（JSPM-4500S/4610S）とAFM/SPM両用機（JSPM-4500A/4610A）とでは、冷却タンクの取り付け位置が異なります。下の写真は、JSPM-4500Aに冷却タンクを取り付けた状態です。STM専用機では、チャンバ直上に冷却タンクが取り付きます。

蒸着装置

試料に異種原子を蒸着させるためのアタッチメントです。試料へは下方から蒸着可能な構成となっており、また試料まではコリメーションされていますので、試料以外を汚すことなく蒸着が行えます。またシャッター機能が搭載されておりますので、蒸着量の制御もできます。

ガス導入装置

SPM観察時のガスの吸着過程や化学反応などを観察するために有効なアタッチメントです。本アタッチメントを使用することで吸着の初期過程や吸着ガスの分布などの研究に有効です。

試料劈開装置

試料処理分析室に取り付け、半導体試料のような比較的硬くてもろい試料を専用の試料ホルダに装着し、超高真空中で劈開を行う装置です。劈開後、SPMによりその劈開面を観察できます。

光電子分光装置(XPS)装置

JSPM-4500の試料処理室に装着して、光電子分光装置として使用できます。本装置は市場での評価が高い弊社製光電子分光装置JPS-9000リーズのシステムが使用されております。Ｘ線源はAl/Mgのツインターゲット、アナライザレンズは３段円筒レンズと半球形アナライザを採用しています。本装置は、試料処理室の形状によりJSPM-4610には取り付けることができません。

低エネルギー電子回折(LEED)/オージェ電子分光(AES)装置

低エネルギー電子回折(LEED)と同時に、オージェ電子分光（AES）が可能な低エネルギー電子線回折（LEED）アタッチメントです。試料処理室の形状により、JSPM-4610には取り付けることができません。