超高真空SPM

真の表面、清浄表面を観察するため、10-8Paの超高真空下で水平分解能0.14nm、垂直分解能0.01nmという高分解能を実現した走査形プローブ顕微鏡です。単に物質の表面の凹凸像の観察ばかりではなく、吸着過程の観察、高温下や低温下での相転移、積層構造での電子密度分布、さらに走査形トンネル電子分光法(STS)、原子間力顕微鏡法(AFM)など、多くの応用に対応できる種々の周辺装置を備えた拡張性の高い装置です。

超高真空中で、試料に対する蒸着・ガス導入・MIEDなどの前処理やRHEED観察を可能にするマルチポート試料処理チャンバを装備したJSPM-4500と、試料処理チャンバを簡略化することによってコンパクトな構成にしたJSPM-4610の２タイプがあります。

主な仕様　この仕様は、JSPM-4500とJSPM-4610とで共通です。

分解能
	STM	AFM
水平分解能	0.14nm	原子分解能
垂直分解能	0.01nm	原子分解能
粗動機能（モータードライブ）
	STM専用機	AFM/STM両用機
アプローチ機能（Z粗動）	自動アプローチ機能組込み
X、Y粗動（試料移動）	±2mm	±1mm
圧電走査素子（ピエゾ素子）
	STM専用機	AFM/STM両用機
走査方式	積層シェアモード走査方式	チューブ式走査方式
スキャンサイズ	XY=0.2um、Z=0.6um	XY=10um、Z=2.7um
スキャンローテーション	組込み（-180°～180°）
走査範囲
	STM専用機	AFM/STM両用機
走査可変範囲	0～200nm	0～10um
ズーム機能	組込み
試料
	STM専用機	AFM/STM両用機
試料サイズ (H×W×T)	最大10×10×5mm	最大8×7.7×2mm
	1×7×0.3mm （加熱用）
試料加熱機構（標準）
加熱方式	通電加熱
加熱温度	≦1200℃
ドリフト
ステージ方式	ドリフトフリーステージ方式
システムドリフト量	≦0.05nm/s
超高真空チャンバ
構成	3室構成（3室独立排気システム）
真空度	試料交換室　～10^-4Pa 試料処理室　～10^-7Pa 　　超高真空像観察室　～10^-8Pa
ベーク方式	ヒータ内蔵方式

超高真空SPM

主な仕様 この仕様は、JSPM-4500とJSPM-4610とで共通です。

主な仕様　この仕様は、JSPM-4500とJSPM-4610とで共通です。