電子ビーム蒸着用電子銃

• 反射電子低減電子銃BS−60050EBSによる近紫外域低吸収膜の作製
• 蒸着用電子ビーム源
• 蒸着用偏向型電子銃のメンテナンスについて

直進形電子銃

• 高出力電子ビーム源
• 電子ビーム溶解による多結晶シリコン精錬

内蔵形プラズマ銃・電源

• 高出力内蔵形プラズマ銃の応用例
• 内蔵形プラズマ銃について

RF 電源

• DeviceNet 搭載のRF電源/自動整合装置
• ＲＦスパッタ用高性能アークカット機能の紹介