新型電界放出形走査電子顕微鏡　JSM-7100Fを発売
−観察と解析機能を充実した高性能解析ツール−

日本電子株式会社（代表取締役社長　栗原 権右衛門）は、この度、新型電界放出形走査電子顕微鏡JSM-7100Fを開発し、販売を開始いたしました｡　

走査電子顕微鏡は、あらゆる業種の研究部門から製造現場まで多岐にわたり使用されています。JSM-7100Fは従来機種で実績のある優れた電子光学系を踏襲し、高分解能観察と高精度の元素分析、さらに結晶方位解析やカソードルミネッセンス（CL）など各種の解析を可能としています。幅広いニーズに対応可能な、使いやすい高性能解析ツールです。

主な特長

• 高分解能
  実績のある電子光学系により、1.2nm (30kV)、3.0nm (1kV)、3,0nm(15kV、照射電流5nA) の高分解能を実現しています。
• 高速・高精度元素分析
  大電流でも常に最適な最小電子プローブ径が得られ、分析精度や元素マップの品質を落とさずに短時間で分析ができます。
• 高安定の電子プローブによる安定した高性能データ
  長寿命で安定した電子プローブが得られるインレンズサーマル電子銃を搭載、電子プローブが長時間安定しているため、観察は勿論、EDS（エネルギー分散型X線分光）、WDS（波長分散型X線分光）、EBSD（後方散乱電子回折）やCL等の各種分析においても、常に高性能データが得られます。
• 応用分野が広がる高い拡張性
  EDS、WDS、EBSDやCL等の各種分析の他、最大300Paの低真空領域を実現した新型低真空機能、極低加速電圧での高分解能観察及び信号分離を可能としたTTLシステム、極低倍（LDF)モード、電子ビーム露光などの様々なオプション機能を拡張でき、ユーザーの解析目的に応じて最良のカスタマイズが可能です。
• 環境にやさしいエコ設計
  当社従来機種よりも消費電力を45%以上削減したエコ設計です。

主な仕様

二次電子像分解能	1.2 nm (加速電圧 30kV 時) ，3.0 nm (加速電圧 1 kV 時) 分析時　3.0 nm (加速電圧 15 kV,WD10mm, 照射電流 5nA)
倍率	×10　〜 1,000,000
像の種類	二次電子像、反射電子像（オプション）
加速電圧	0.2〜30 kV
照射電流	最大200nA
電子銃	インレンズサーマル電子銃
対物レンズ	コニカル対物レンズ
試料ステージ	5 軸モータ駆動ステージ
試料移動範囲	X‐Y：70 mm ×　50 mm ，Z：3〜41 mm 傾斜： - 5〜70°、 回転：360°エンドレス
各種オプション	EDS、WDS、EBSD、CL、低真空機能、TTLシステム、電子ビーム露光

本体標準価格

JSM-7100F　￥52,000,000-　〜

初年度販売予定台数

150台/年間

Copyright(C)1996-2012 JEOL Ltd., All Rights Reserved.