走査電子顕微鏡 基本用語集

その他

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  6. その他
用語説明
用語
(別表現)
英語表記
(英語略称)
説明
関連用語
アクティブ磁気シールド
(アクティブ磁場キャンセラ)
active magnetic shield,active magnetic field canceller

磁気センサーで磁場変動を検出し、周囲に置いた磁界発生コイルに流す電流を調整すると、磁気センサーが置いてある場所の磁場変動を打ち消すことが可能である。このようなシステムをアクティブ磁気シールドと呼ぶ。磁場変動の種類によっては高透磁率の素材を使った磁気シールドより手軽に設置することが可能である。

アクティブ除振装置

active vibration isolator

SEMは床からの振動を防ぐために、金属バネあるいは空気バネの様な除振装置を使っているが、床振動の周波数によってはこれらのバネの共振周波数と一致して、かえって増幅されてしまい、大きな像揺れを引き起こす。アクティブ除振装置は、センサーで検出した振動を打ち消すような動きをアクチュエータで与えることで、共振を抑えるシステムである。

アーティファクト
(人工産物)
artifact

試料作製あるいは観察段階で人為的に生じた偽の構造。

インスタントフィルム

instant film

撮影後1分程度で写真が出来上がる写真フィルムシステム。ネガシート、現像液、ポジ写真シートが一つのパッケージになっており、暗室作業も必要ない。ポラロイド社で開発されたことから“ポラロイド”が代名詞となっている。通常はポジ写真シートのみを扱うので、写真は1枚しか得られないが、ネガシートを使って焼き増しができるタイプもある。短時間で結果が得られることと暗室作業が無いことからある時期多用されたが、画像をデジタル化して扱うようになってからは使用量が低下している。

オングストローム

angstrom

長さの単位。記号はÅで表し、1Å=0.1nmである。SI単位系ではないため、使用頻度は極めて少なくなっている。

外乱

external disturbance

SEMの性能に影響を与える、静磁場変動、交流磁場、床振動、音響、気圧変動など、設置環境に起因する要因。

高精細画像記録

high-resolution image recording,high-definition image recording

SEM像は通常100万画素程度(拡大観察を目的とする場合で400万画素程度)の精細度で記録されるが、これに対して、専用の画像記録装置には、数千万画素以上の精細度でSEM画像が記録できるものがある。このような記録法を高精細画像記録と言う。同じ画質を保ったまま記録するには数十分といった長時間の記録を行う必要があるが、記録された広い視野の中から小さな構造を選んで拡大観察するような場合に有効なシステムである。

写真フィルム

photographic film

SEM像を記録するためのフィルム。AgBrなどのハロゲン銀粒子をゼラチンと混ぜ、フィルムベースに塗布したもので、銀塩フィルムとも呼ばれる。長い間使われてきたが、近年インスタントフィルムが使われるようになり、さらにデジタル記録が行われるようになってから、使用量は極めて少なくなっている。

磁気シールド
(パッシブ磁気シールド)
magnetic shield,passive magnetic shield

外部磁界変動による像の揺れ、歪みなどを軽減するために電子光学系や試料室を透磁率の高い材料で囲むこと。磁力線はシールド材の中を流れるので、それに囲まれた部分の磁力線は減少し、影響が少なくなる。この方法はパッシブ磁気シールドと呼ばれることがある。

自動欠陥分類

automatic defect classification
(ADC)

欠陥レビューSEMの機能の一つ。自動欠陥レビューによって得られたSEM 像をもとにして、自動的に欠陥を分類することができる。

自動欠陥レビュー

automatic defect review
(ADR)

欠陥レビューSEMの機能の一つ。半導体などの製造ラインで生じた欠陥を自動的に認識し SEM像取得を行うことができる。

走査電子顕微鏡学

scanning electron microscopy
(SEM)

走査電子顕微鏡の電子光学系、検出器、形像コントラストなどを理論的に扱ったり、走査電子顕微鏡の使い方、試料作製法などを扱う学問。

脱ガス

degas

ガス放出の多い試料を観察・分析する前に、予め真空排気装置の中に置いたり、加熱することで、ガス放出を促すこと。

電子線描画
(電子線リソグラフィー)
electron-beam lithography,EB lithography,EB writing

レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プローブだけで描画できる領域は小さいので、大きなパターンを描くには試料ステージの移動も併用する。

透過電子顕微鏡学

transmission electron microscopy
(TEM)

透過電子顕微鏡の電子光学系、形像コントラストなどを理論的に扱ったり、透過電子顕微鏡の使い方、試料作製法などを扱う学問。

ネガフィルム

negative film

撮影用CRTに表示されたSEM像を記録するための写真フィルム。写真フィルムに記録された画像は被写体とコントラストが逆転することから、こう呼ばれる。これに対して、印画紙に焼き付けたものをポジ(positive)と呼ぶ。

ポラロイドフィルム

Polaroid film

ポラロイド社製のインスタントフィルムの商品名。

レシピ

recipe

試料あるいは観察目的にあった、加速電圧、作動距離、観察モードなどの条件をまとめたもの。これを呼び出して目的にあった装置条件を設定するのに使われる。

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