走査電子顕微鏡 基本用語集

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  1. ダイナミックフォーカス

    dynamic focus

    [目次:装置]

    電子プローブの走査と同期して、フォーカスを少しずつ変えることで、フォーカス面を傾ける機能。平面状の試料を大きく傾斜すると、傾斜方向に焦点深度以上のフォーカスずれが起きるので、これに対する補正手段として使われる。
    下図にダイナミックフォーカスの動作原理図を示す。左はダイナミックフォーカスが行われていない状態で、フォーカス面と試料表面が一致していないため焦点ずれが起きている。右は電子プローブの走査に同期してダイナミックフォーカスコイルの強さを変えることでフォーカス面と試料表面を一致させており、常に焦点が合った状態に保たれていることを示している。

    DFC

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