• 概要

XM2019-02

概要

波長分散形X線分光器は、X線の回折条件 (Braggの条件) と幾何学的な集光条件を満たすために、試料上のX線発生点と分光結晶との距離、分光結晶とX線検出器との距離が等しくなっています。分光結晶とX線検出器をローランド円に沿って移動させることで、異なる波長のX線を検出します。

弊社EPMAのX線分光器は、このローランド円の半径として140 mmと100 mmを採用しています。ローランド円の半径が140mmのXCE・L形X線分光器は分光範囲が広く、波長分解能やP/B比が優れている、100mmのH形X線分光器はX線強度が高いといった特徴があり、目的に応じて選択できます。

各分光器のPET, LIF, TAP分光結晶および、LDE1やLDE2といった軽元素用分光素子を紹介します。

分光器の模式図

高角側(長波長側)

低角側(短波長側)

超軽元素用分光素子の検出元素リスト

LDE1およびLDE2は分光範囲が広いため、汎用性が高く使いやすい分光素子です。LDE5Hは累積膜(STE)に比べ、NのX線感度を30倍向上させることに成功しました。また、LDE6Hは微量Cや微量Bに高い効果を発揮します。

名称 面間隔2d(nm) 元素分析
Be B C N O F 適用分光器
LDE1 約6 XCE
FCS
LDE2 約10
LDEB 約14.5
LDE1L 約6 L
LDE6L 約12
LDE1H 約6 H
LDE2H 約10
LDE3H 約20
LDE5H 約8
LDE6H 約12

PET,LIF,TAP分光結晶の分光範囲

PET, LIF, TAP分光結晶の分光範囲
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