• 概要

IB2019-07

通常の試料作製法では断面など一方向からのTEM観察しかできません。しかし、観察部位が試料のどの位置にあるか不明確な場合などは、異なる二方向から観察できるような試料作製が有効です。FIB/TEM共用の三次元試料ホルダーを使用すると、平面観察用試料を作製してTEM観察により観察部位を特定した後、断面観察用の試料が作製できます。

三次元試料ホルダー※オプション

ホルダー先端にあるピン形状の試料台が360°回転する機構を持つTEM試料ホルダーです。
多方向からのTEM観察が行えます。JIB-4000PLUSは、オプションのサイドエントリーゴニオメーターステージによりこの試料ホルダーを挿入可能です。

60°回転可能な試料台
FIB/TEM共用の三次元試料ホルダー

DRAMメモリーのTEM試料作製

DRAMメモリーの平面観察用試料を作製して、TEM観察を行い観察部位を特定しました。
FIBで切り出したチャンク試料を三次元TEM試料ホルダー先端のピン形状試料台に固定し、TEMで平面観察ができるような方向で厚み1μm程度の薄膜試料を作製しました。
平面観察用試料のTEM観察後、試料ホルダーをFIBに戻し、特定した観察部位で断面方向の観察ができるように薄膜試料を作製しました。

試料台先端で作製した平面観察用TEM試料

試料台先端で作製した平面観察用TEM試料

察部位の断面観察用TEM試料

察部位の断面観察用TEM試料c

観察部位の断面観察像 (STEM BF像)

観察部位の断面観察像 (STEM BF像)

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