• 概要

IB2019-11

FIBの高精度な微細加工の特長は微細形状作製の用途にも利用できます。微小部品の加工に用いた場合、機械加工では困難なサブミクロンオーダーの微細な形状を簡単に作製することが可能です。

ベクター加工システム※オプション

ベクター加⼯システムは、通常の加⼯(ラスタースキャン加⼯)では作製が困難な複雑な形状の加⼯を行うシステムです。任意図形のグレースケール画像から、画像と同じ形状でFIBのミリング加⼯が行えます。

円環状絞りの作製

荷電粒子光学上の応用が期待されている円環状絞りをベクター加⼯システムを使用して作製しました。厚さ5 μmのMo箔に、2種類の図形のグレースケール画像を使って作製しています。

加工形状の画像

加工形状の画像

作製した円環状絞り

作製した円環状絞り

微小引っ張り試験片の作製

試料に対するイオンビーム入射方向を⼯夫することで、FIBの基本機能だけでも複雑な立体形状を作製することができます。
FIBの標準機能だけを使って、引っ掛け部を持った微小な引っ張り試験片を作製しました。

引っ張り試験片の作製プロセス

引っ張り試験片の作製プロセス

作製した引っ張り試験片

作製した引っ張り試験片素材:銅版

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