• 概要

MP2020-01

光学顕微鏡(LM、実体顕微鏡)で観察された水道水フィルター上の異物を、SEMでEDS元素分析しました。
LMで黄色く見えた異物がSEMの組成像では白く観察され、白色異物の位置が把握しにくくなったため、"光学顕微鏡像連動ソフトウェア" を用いて同一視野の特定をしました。
元素分析の結果、C、O の他に黄色異物はAl、Si、S、Ca、Fe等が、白色異物はSi、P、Ca、Fe等の元素が含まれることが分かりました。また、元素分布をみると、白色異物にSiやCaが偏在している様子が確認できました。

LM/SEM観察


加速電圧15kV 倍率x350 真空度40Pa

EDS元素分析

黄色異物はAl、Si、S、Ca、Fe等が、白色異物は、Si、P、Ca、Fe等の元素が含まれていることが分かります。

* 光学顕微鏡像連動ソフトウェア
SEM操作画面上のSEMライブ像にあらかじめ取得してあったLM像を重ね合せるソフトウェアです。

元素分布

検出した元素の分布をみると、白色異物(矢印部)のSiやCaが偏在している様子が分かります。

試料: 水道水のフィルター
加速電圧: 15kv、倍率: ×350、真空度: 40Pa

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