光学顕微鏡で観察した繊維のSEM/EDSによる分析(アスベストCLEM法)

  • 概要

MP2020-02

一般的にアスベストの計数は、広い領域を短時間で観察できる光学顕微鏡で行いますが、光学顕微鏡では計数中に「これは本当にアスベスト?」と疑問に思った際、確認する術がありませんでした。ここでは、アスベストCLEM法により、光学顕微鏡で観察して疑問に思った繊維を、容易にSEMで分析した例を紹介します。

アモサイト分析例

光学顕微鏡 (LM、位相差顕微鏡) で観察した繊維 (図3) にマーキングし (図1)、SEMで同一繊維を観察しました (図2、図4)。 EDS分析によりアモサイトと同定しました。

図1 LM 位相差像

図1 LM 位相差像

図2 SEM 二次電子像

図2 SEM 二次電子像

図3 LM 位相差像 拡大

図3 LM 位相差像 拡大

図4 SEM 二次電子像 拡大

図4 SEM 二次電子像 拡大

赤矢印部のEDSスペクトル

クリソタイルに混在した繊維状物質の分析例

クリソタイルを捕集したフィルターの観察中に、クリソタイルでないと思われる繊維を発見しました (図5)。アスベストCLEM法によりSEM/EDSで同一繊維を観察、分析した結果、クリソタイルと思われる繊維はクリソタイル(図7)、クリソタイルではないと思われる繊維はアモサイト (図8)と同定しました。
このように異なる繊維が試料に混在していた際も、アスベストCLEM法を用いることで、繊維を判定することが可能です。

図5 光学顕微鏡 位相差像 総合倍率 400x

図5 光学顕微鏡 位相差像

図6 SEM 二次電子像 x400

図6 SEM 二次電子像

図7 ①クリソタイルと思われる繊維の分析結果

図7 ①クリソタイルと思われる繊維の分析結果

図8 ②クリソタイルではないと思われる繊維の分析結果

図8 ②クリソタイルではないと思われる繊維の分析結果

Sample: フィルターに捕集されたアスベスト
Imaging device: Nikon Ci, JEOL JSM-IT200
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