• 概要

MP2021-01

目的:

  • ねじ全体(4 mm x 5 mm)を断面加工したい。
  • ねじ断面の全体をSEM観察したい。
  • 断面の広域元素分析を行ないたい。
SEM-EDSによる金属部品の広域測定

長い作動距離(WD)での広域SEM観察

WD を40 mmにすることによって、歪のない極低倍率でのSEM観察が可能となる。

長い作動距離(WD)での広域SEM観察

~断面試料作製手順~
①機械研磨 (アルミナ0.3 μm仕上げ)
②CPに搭載された平面ミリング
*CP平面ミリング条件:
加速電圧 6 kV, 傾斜角 80°, 5 min.
CP: Cross-section Polisher

反射電子像によるチャンネリングコントラストの観察

平滑なねじ断面の各部位を拡大すれば、チャンネリングコントラストの違いが観察できる。

反射電子像によるチャンネリングコントラストの観察

モンタージュSEM観察および元素分析

モンタージュ機能を用いることで、WD 10 mmで観察 および分析が広領域で行なえる。

モンタージュSEM観察および元素分析

モンタージュ結果 6×6
試料:真鍮製ねじの平面ミリング断面
加速電圧:20 kV
低真空モード (20 Pa)
撮影範囲:6.4 mm × 4.8 mm

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