• 概要

SEMや複合イオンビームシステムに取り付けるCryoシステムとしてALTOシリーズ(Gatan UK製)があります。フィールドエミッション電子銃を備えたSEMに適したALTO2500と、汎用SEM用のALTO1000 の 2 機種について紹介します。
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