新しい波長分散形軟X 線発光分光器を搭載した電子プローブマイクロアナライザによる元素分析および元素の状態分析

  • 概要

日本電子News Vol.44, 2012 高橋 秀之†、飯田 信雄†、村野 孝訓†、寺内 正己††、小池 雅人†††、
河内 哲哉†††、今園 孝志†††、小枝 勝††††、長野 哲也††††、笹井 浩行††††、
大上 裕紀††††、米澤 善央††††、倉本 智史††††

† 日本電子株式会社 周辺機器事業ユニット
†† 東北大学多元物質科学研究所 先端計測開発センター
††† 原子力機構 量子ビーム応用研究部門
†††† 株式会社島津製作所 デバイス部光学ビジネスユニット

これまで透過電子顕微鏡(TEM)用に開発されてきた軟X 線分光器を電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)に搭載した。低エネルギー領域の50 ~ 170eV 程度までのエネルギー領域を同時に分光可能な不等間隔溝回折格子JS50XL を新たに開発し、背面照射型CCD 検出器と組み合わせて本分光器を開発した。この低エネルギー領域においてAl 金属のAl-L 発光では0.2eV 以下の高いエネルギー分解能が得られ、フェルミ端とその低エネルギーの電子状態密度を観察することができ、微小領域での状態分析が可能となった。検出器は背面照射型CCD を用いることでパラレル検出も可能となり、試料上のピクセルごとにスペクトルを保存するスペクトルマップの取得も可能とした。この結果、マイクロメータレベルから10cm 角程度の実試料に関して、化学結合状態を反映した分布をとらえることも可能となった。新開発軟X 線分光器を搭載したEPMA は、これら高エネルギー分解能や高感度などの様々な特長を有しており、その新機能の一例を紹介する。
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