イオンスライサの概要

TEM 試料作製に使用されているイオンミリング法は、低エネルギーのArイオンを用いるためイオン注入によるアモルファス層形成などのダメージが非常に少なく、高分解能観察に適したTEM 試料作製法として幅広く利用されている。
しかしそのプロセスは複雑であり試料作製者の経験の差により完成した試料の品質に大きな差が生じてしまう。
これらの欠点を解決するために開発された装置がイオンスライサ™である。