ショットキーSEMにおける大電流時のビーム径増大を防ぐ電子光学系とその検証

ショットキー電子銃を搭載したSEMは、安定度の高い大きな照射電流が得られることから、コールドFEGを搭載したSEMに比べ大照射電流を生かした様々なアプリケーションに使用されています。最近では電子光学系の工夫により数100 nA以上の照射電流が得られる装置もあり、EDSのみならずEBSD、WDSにおいても有益なデータが得られています。しかしながら、一般的には、集束レンズを弱励磁にして照射電流を増やすと電子ビーム径の増大による元素分析時の分解能低下が起こります。
我々は、大電流時での電子ビーム径の増大を回避するために、対物レンズに対して開き角を自動的に最適化するための開き角最適化レンズ（以下ACL）を採用しています。本発表では、ACLの有効性を示すとともに、大電流時の分析分解能を検証しましたので報告します。