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薄膜FP法による膜厚測定 - メッキ物標準試料の測定例 -

InSpirAtion【薄膜・めっき】

はじめに

部品に耐食性・装飾性・機能性を持たせるため、めっきなどの表面処理は広く行われています。これらの成膜の厚さは製品の特性や品質、生産コストにもかかわるので管理が重要であり、様々な測定・分析・評価が行われています。
蛍光X線分析装置は、非破壊で標準試料なしに最大5層まで膜厚測定が可能です。

各種標準試料の測定例

Auメッキ

サンプル

JEOL XRF 薄膜 サンプル

測定条件

  • 管電圧:50 kV
  • コリメータ径:0.9 mmφ
  • 雰囲気:大気
  • 測定時間:60秒

スペクトル

JEOL XRF 薄膜 スペクトル

分析結果

分析結果(μm) 認証値(μm)
2.06 1.99

Niメッキ

サンプル

JEOL XRF 薄膜 サンプル

測定条件

  • 管電圧:50 kV
  • コリメータ径:0.9 mmφ
  • 雰囲気:大気
  • 測定時間:60秒

スペクトル

JEOL XRF 薄膜 スペクトル

分析結果

分析結果(μm) 認証値(μm)
1.10 0.99

Znメッキ

サンプル

JEOL XRF 薄膜 サンプル

測定条件

  • 管電圧:50 kV
  • コリメータ径:0.9 mmφ
  • 雰囲気:大気
  • 測定時間:60秒

スペクトル

JEOL XRF 薄膜 スペクトル

分析結果

分析結果(μm) 認証値(μm)
2.81 2.61

Agメッキ

サンプル

JEOL XRF 薄膜 サンプル

測定条件

  • 管電圧:50 kV
  • コリメータ径:0.9 mmφ
  • 雰囲気:大気
  • 測定時間:60秒

スペクトル

JEOL XRF 薄膜 スペクトル

分析結果

分析結果(μm) 認証値(μm)
8.89 8.97
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