Stage Linkage CLEM

C-Linkage (Cleanliness CLEM)

特長 STRONG POINT

ISO16232 に準拠した清浄度検査システムです。専用ホルダーとソフトウエアによって、JEOL製走査電子顕微鏡とニコン製光学顕微鏡、Oxford instruments製EDSをリンケージします。各分野トップクラスの装置の組み合わせは、各装置のオート機能により、オペレーターのスキルに左右されない高精度な検査結果を実現します。

C-Linkage
  • 光学顕微鏡、走査電子顕微鏡として単独で使用できます
  • 設置レイアウトの自由度など、コンポーネント方式ならではのメリットを最大限活かしたシステムです

ISO16232とは

C-Linkage Nikon SMZ800W

ダウンサイジングコンセプトやハイブリッド、クリーンディーゼルエンジンなど、自動車の構成部品は、年々小型化、細密化しています。それに伴い、故障の原因となる残留粒子検査も、重量法検査から、粒子サイズと個数により数値化される粒子計算検査へシフトしつつあります。これら自動車部品の清浄度検査に関する国際規格が、ドイツ自動車工業会規格VDA19を前身とするISO16232です。

製造プロセスによって発生した構成部品の表面上存在する汚染粒子を精度良く検出し、そのサイズ、形状、組成情報を得ることによって、異物発生源の特定、再発防止と品質向上を目指すことが求められます。

Cleanliness CLEM Workflow

試料作製

Cleanliness CLEM Workflow
Cleanliness CLEM Workflow
Φ47mm メンブレンフィルター専用ホルダーにセット

光学顕微鏡(LM)

Cleanliness CLEM Workflow
光学顕微鏡観察
Cleanliness CLEM Workflow
コンタミ検査

SEM用試料ホルダーへセット

Cleanliness CLEM Workflow
メンブレンフィルター専用ホルダ―
6個同時装着可能

走査電子顕微鏡(SEM)

Cleanliness CLEM Workflow
同一視野のSEM観察
Cleanliness CLEM Workflow
自動粒子解析
Cleanliness CLEM Workflow
レポート作成