Image Overlay CLEM

光学顕微鏡像連動ソフトウェア

特長 STRONG POINT

光学顕微鏡(LM)の画像を走査電子顕微鏡(SEM)画面上に半透明でオーバーレイ表示し、位置合わせを行うCLEMです。

光学顕微鏡像連動ソフトウェアをSEMにインストールするだけで、LMの種類を問わず、様々なLM像を容易にSEM像と相関させることができます。

「光学顕微鏡で見つけた目標物を素早くSEMで観察と分析がしたい。」「変色など色の違う箇所を確認しながらSEMで解析したい。」という多くのSEMユーザーの要望にお応えします。
光学顕微鏡像連動ソフトウェア Nikon SMZ800W

光学顕微鏡像連動ソフトウェア Workflow

実体顕微鏡 (LM)

光学顕微鏡像連動ソフトウェア
高倍観察で目標物を観察
光学顕微鏡像連動ソフトウェア
アライメント用画像を保存
光学顕微鏡像連動ソフトウェア

走査電子顕微鏡 (SEM)

SEM操作画面上の光学顕微鏡像連動ソフトウェア

光学顕微鏡像連動ソフトウェア
光学顕微鏡像連動ソフトウェアを用いて、アライメント用画像を操作画面上のSEMライブ像上に重ね合せし、アライメント用画像の中心にステージ移動させる
光学顕微鏡像連動ソフトウェア
倍率を上げて、目標物を拡大観察

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