電子プローブマイクロアナライザJXA-8530FPlus を販売開始 -電子光学系を大幅に強化しハイスループット分析を実現-

2017/01/05

日本電子株式会社(代表取締役社長 栗原 権右衛門)は、電子プローブマイクロアナライザJXA-8530FPlus を開発し、2017年1月5日より販売を開始しました。

開発の背景

フィールドエミッション電子銃を搭載した電子プローブマイクロアナライザ(EPMA [FE-EPMA] )は当社が2003年に世界に先駆けて商品化して以来、金属、材料、地質などの諸分野で広く使用され、高い評価を得てきました。
当社にとって第3世代となるJXA-8530FPlusは、電子光学系を大幅に強化しハイスループット分析を実現するとともに、新開発のソフトウェアにより多くのアプリケーションを提供できる装置として開発されました。また、多目的チャンバーを採用し、様々な周辺機器に対応する拡張性をさらに進化させました。実績のある安定性をそのままに幅広い要求に応えるFE-EPMAです。
大学や官民の研究開発拠点に向けて販売を予定しています。

主な特長

  1. In-lens Schottky Plus FEG EPMA version
    In-lens Schottky Plus FEG EPMA versionは、角電流密度の最適化を行い、2μA以上の大電流による分析が可能になりました。また分析条件時の二次電子保証分解能を向上しました。
  2. Advanced software
    Windows ®ベースの操作環境に、新開発のより簡単に微量の分析ができる「微量元素分析プログラム」、自動で相マップが作成できる「フェイズマップメーカー」、凹凸試料を簡単入力で測定できる「凹凸試料分析プログラム」など、多彩なソフトウェアを用意しています。
    脚注:Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。
  3. Flexible WDS configuration
    ローランド円に140Rと100RのX線分光器を選択できます。
    ローランド円の半径が140RのXCE・L形X線分光器は分光範囲が広く、波長分解能やP/B比が優れています。100RのH形X線分光器はX線強度が高いといった特徴があり、目的に応じて選択できます。
  4. Combined WDS/EDS system
    自社製30mm2 SD検出器(以下SD検出器)を標準装備しています。高係数率を誇るSD検出器を採用することによりWDS/EDS同時測定における分析条件の選択が容易になり、ご好評頂いていたWD/EDコンバイン分析がさらに進化しました。簡単操作でEDSスペクトルを収集します。
  5. Multipurpose chamber
    拡張性の高い試料室、試料交換室を装備しており、様々なアタッチメントを装着することができます。
    装着可能なアタッチメント例
    • 結晶方位解析装置(EBSD)
    • カソードルミネッセンス検出器
    • 軟X線分光器
    • 大気非暴露対応トランスファーベッセル
    • 高速エッチングイオン銃
  6. Powerful clean vacuum system
    2台の磁気浮上形ターボモレキュラーポンプを含む、high-powerな真空系です。 また鏡筒に中間室を2段用意し、差動排気を実現することにより電子銃室の高真空を保ちます。
  7. Soft X-ray Emission Spectrometer (SXES)
    東北大学多元物質科学研究所(寺内正己教授)、当社などが共同開発した、高分解能X線分光器です。 新開発不等間隔溝回折格子により、Li-KやB-Kスペクトルを同時に高感度CCDでパラレル検出します。分解能が非常に高く、化学結合状態分析などができます。
  8. miXcroscopy (Correlative microscope)
    光学顕微鏡で指定した座標データをEPMAの分析点として一括登録できます。光学顕微鏡で分析位置を決める必要のある試料に最適なシステムです。

主な仕様

分析元素範囲 WDS: (Be) B~U,EDS: B~U
X線分光範囲 WDS分光範囲 : 0.087~9.3nm,
EDSエネルギーレンジ : 20keV
X線分光器数 WDS : 1~5基選択、 EDS : 1基
最大試料寸法 100mm × 100mm × 50mm (H)
加速電圧 1~30kV (0.1 kVステップ)
照射電流安定度 ± 0.3%/h (10kV, 50nA)
二次電子像分解能 3nm (30kV, WD 11mm)
20nm (10kV, 10nA, WD11mm)
50nm (10kV, 100nA, WD11mm)
走査倍率 × 40 ~ × 300,000 (WD 11mm)
走査像解像度 最大 5,120 × 3,840

JXA-8530FPlus

本体標準価格

143,000,000円~

販売予定台数

35台/初年度

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