「JEH-T1シリーズ」「JEH-Dシリーズ」サポート終了・更新について

2017/05/19

平素より日本電子製品をご愛顧頂き、厚く御礼申し上げます。
さて、ご使用頂いております「JEH-T1シリーズ」及び「JEH-Dシリーズ」プラズマ発生用RF電源は、2001年の販売中止より既に15年が経過いたしております。
この間、保守部品を確保しメンテナンス対応をして参りましたが、電源構成部品の製造中止により、電気部品を中心とした保守部品の確保が出来なくなりました。
既に4年前からサポートが困難であることをご連絡させて頂きましたが、改めまして正式にサポート終了のご案内を申し上げます。
何卒ご容赦賜りますようお願い申し上げます。

サポート終了期限

2017年4月30日(日)

対象製品

下記製品の装置本体並びに付属アタッチメント
JEH-005T1, JEH-01T1, JEH-005D, JEH-01D, JEH-015D, JEH-03D, JEH-05D, JEH-10D, JEH-15D, JEH-25D, JEH-P50D

後継機種のご案内

RF-120シリーズ
スパッタリングやエッチング、CVD、イオンプレーティングなど薄膜作製/加工用で使用される13.56MHzのプラズマ発生用高周波電源(RF電源)です。

お問合せ先

  • 「JEH-T1シリーズ」「JEH-Dシリーズ」サポートに関するお問合せ
    日本電子株式会社 SIフィールド本部 産業・環境機器サービス部
    TEL: 042-542-2327
    FAX: 042-542-2156
    E-mail: dtmiesvc@jeol.co.jp
  • 更新に関するお問合せ
    日本電子株式会社 IE営業ブループ
    TEL: 03-6262-3570
    FAX: 03-6262-3577