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特長 STRONG POINT

精密エッチング/コーティングシステムPECS2 Model685
精密エッチングシステムPECS™IIは、卓上式ブロードビーム・アルゴンミリングツールで、試料を加工するだけではなく、イオンビームスパッタコーティングをすることが出来ます。この加工、コーティング工程は、一定の真空状態の下で、同一の試料に施すことが可能です。
PECS™IIシステムは、多機能、コンパクトなベンチトップ装置です。2つのブロードイオンビームにより試料加工、試料表面のダメージを除去し、高分解能FE-SEMに適した試料表面加工ができます。
この試料表面は良好なSEM画像を取得出来るだけでなくEDS、EBSD、CL、EBICなどの分析に対しても有効です。また工学系の顕微鏡やSPMの試料としても最適です。

仕様 SPEC

イオンソース
イオンガン レアアース磁石を備えた2台のペニングイオンガン
ミリング角度 ±10°、各ガンは個別に調節可能
イオンビームエネルギー 100eV ~8.0keV
イオン電流密度 10mA/cm2 ピーク
ミリング速度 90μm/h : シリコン
ビーム径 ガス流量コントローラまたは放電電圧を用いて調節可能
試料ステージ
サンプルサイズ 32mmφ×15mmH(最大)
試料装着 断面はIlion™IIの特許取得ブレード
SEMステージに適したマルチプルホルダー
回転 1~6rpmまで可変可能
ビームモジュレーション シングルまたはダブル 各条件設定可能
高解像度CCD観察 PCとDigitalMicrograph® ソフトウェア、画像保存機能を備えたデジタルズーム顕微鏡(オプション)
真空系
ドライポンプシステム ターボ分子ポンプ80L/s
2ステージダイヤフラムポンプ
圧力 ベース真空度:5×10-6Torr
オペレーション真空度:8×10-5Torr
真空ゲージ コールドカソードゲージ(メインチャンバ)
半導体式圧力計(背圧ポンプ)
試料のAirlock Whisperlok® 技術、サンプル交換時間 <1分
ユーザーインターフェース
10インチのタッチスクリーン(カラ―) 簡単な操作で、全てのパラメータとレシピ操作を完全制御
設置条件
寸法 495mm(W) ×575mm(D) ×615mm(H)
重量 45kg
消費電力 ガン使用時200W、ガン非使用時100W
電源要件 AC100~240V、50/60Hz
ガス アルゴンガス25psi(1.72bar)
*「DigitalMicrograph®」「Whisperlok®」は(米)Gatan社の製品です。

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