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特長 STRONG POINT

BS-04 series ロータリーセンサー

水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。
真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子(クリスタル)枚数を、選択して組み合わせることができます。

  • 6MHz/5MHzの水晶振動子(クリスタル)が6枚または12枚装着できます。
  • クリスタルが寿命 (Crystal Fail) になると、次のクリスタルへ切り替えてそのまま使用できます。
  • 検出孔が定位置なので、クリスタルの移動ごとに Tooling Factor 値を変える必要はありません。
  • センサーヘッドはフラットタイプと 45°タイプの 2 種類があり、取り付ける位置で使い分けることができます。
  • 長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効です。

設置例

特徴

  • 水晶振動子裏面の電気接点は面接触に近い多点電極となっており、安定な水晶振動による精度の高い膜厚計測が可能です。また消耗部品の交換や組み立てが容易で、電極間の接触不良を起こしにくい構造であるため、クリスタル切替時の安定動作を実現しています。
  • クリスタルの切替えは、エアー駆動+ストッパー機構により、高い位置合わせ精度を実現しています。
  • チャンバー内のセンサー長さを選択でき、またヘッドの角度も2種類あるため、小型装置から大型装置まで任意の場所に取り付けることができます。
  • チャンバー孔へフランジ留めするだけの構造のため設置が容易です。図面通りに検出位置を合わせることができます。
  • センサーヘッドは導入フランジ部から筒で固定されているため、ヘッド部だけのセンサーとは異なり固定が確実です。クリスタル交換時やクリーニング時にセンサーヘッド位置(検出位置)がずれてしまう事がないため、バッチ間や長期使用での再現性(データの信頼性)が得られます。

仕様 SPEC

6点式ロータリーセンサー(BS-04xxxSSR)

6点式ロータリーセンサー(BS-04xxxSSR)

構成

(A)ロータリーセンサーヘッド (B)ロータリーセンサー
種類 型式 L(真空内長さ 型式 L(真空内長さ 型式
フラットタイプ
(180°)
BS-04120SSH 200mm BS-04010SSR 500mm BS-04070SSR
300mm BS-04020SSR 540mm BS-04080SSR
350mm BS-04030SSR 545mm BS-04090SSR
45°タイプ BS-04130SSH 400mm BS-04040SSR 580mm BS-04100SSR
450mm BS-04050SSR 650mm BS-04110SSR
480mm BS-04060SSR

電磁弁キット(オプション) Cuキャップ(オプション)
24V仕様 BS-04170KIT フラットタイプ BS-04140CAP 45°タイプ BS-04150CAP

(A)+(B)(+オプション)の構成で選定ください。45ºヘッド取付時は11mmプラスされます。

 

12点式ロータリーセンサー(BS-04xxxTRS)

 12点式ロータリーセンサー(BS-04xxxTRS)

構成

(A)ロータリーセンサーヘッド (B)ロータリーセンサー
種類 型式 L(真空内長さ 型式 L(真空内長さ 型式
フラットタイプ
(180°)
BS-04430TRH 200mm BS-04300TRS 500mm BS-04370TRS
300mm BS-04310TRS 545mm BS-04380TRS
350mm BS-04320TRS 580mm BS-04390TRS
45°タイプ BS-04440TRH 400mm BS-04330TRS 650mm BS-04400TRS
450mm BS-04340TRS 700mm BS-04410TRS
480mm BS-04350TRS 750mm BS-04420TRS
500mm BS-04360TRS

電磁弁キット(オプション) Cuキャップ(オプション)
24V仕様 BS-04170KIT フラットタイプ BS-04460CAP180 45°タイプ BS-04470CAP45

(A)+(B)(+オプション)の構成で選定ください。45ºヘッド取付時は11mmプラスされます。

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