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特長 STRONG POINT

IB-29500VED/29510VET 真空蒸着装置
IB-29500VED/IB-29510VET 真空蒸着装置は、電子顕微鏡用試料作成が容易に行える真空蒸着装置です。
高分解能観察に適したカーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導電性材に導電性を与えるためのコーティング処理などの他、電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなど高真空を必要とする各種の熱処理、または実験用にも使用できます。
真空蒸着装置は電子顕微鏡用の試料を容易に作成することができます。
  • 高分解能観察に適したカーボン膜が作製できます。
  • 各種金属蒸着膜が作製できます。
  • 非伝導性材に伝導性を与えるためのコーティング処理ができます。
  • シャドーイングによる蒸着が可能です。
  • 電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなどの熱処理ができます。

仕様 SPEC

IB-29500VED IB-29510VET
到達圧力 3×10-4 Pa以下
(液体窒素トラップ無し、冷却温度 16℃以下の場合)
1×10-4 Pa以下
(液体窒素トラップ無し)
圧力測定 B-A真空計及びピラニ真空計
圧力表示 B-A真空計デジタル表示 (レンジ自動切替)
ベルジャー 高さ 250mm×外径 250mm ガラス製
蒸着用電源 AC 10V、50A
蒸着用電極 ・カーボン棒 ホルダー 1組
・タンタルボードホルダー 1組
・ヒーターホルダー 1組 (電極間仕切り板付)
予備ポート 1個
シャッター 試料用 1個 (手動)
油拡散ポンプ(DP) 420L/s 水冷バッフル付 -
ターボ分子ポンプ(TMP) - 240L/s
油回転ポンプ(RP) 100L/min

※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

設置条件

IB-29500VED IB-29510VET
電源 単相 AC100V (±10%) 50/60Hz 2kVA
※配電設備・接地に関する工事は標準工事に含まれません。
単相 AC100V (±10%) 50/60Hz 1.5kVA (許容変動±10%以下)
※配電設備・接地に関する工事は標準工事に含まれません。
接地 D種接地(100Ω以下)
冷却水 給水口Rc3/8、排水口内径25mm以上 (自然排水)
水量 1.5~2L/min、水圧 0.08~0.25MPa、水温 20±5℃
※冷却水接続部までの配管工事は標準工事には含みません
周囲温度 15~30℃
湿度 60%以下 (結露無い事)
本体寸法 H 1,287mm×W 800mm×D 550mm
本体質量 約170kg 約150kg
設置スペース H 2,000mm以上×W 1,200mm×D 1,200mm
搬入口 H 1,300mm×W 800mm
装置自信対策 アンカーボルトによる装置本体固定可。
※アンカー固定金具類は標準工事に含まれません。

オプション

  • 試料回転傾斜装置 IB-21500RTS
  • 液体窒素トラップ IB-21510LNT
    ※液体窒素トラップ (IB-21510LNT)は、イニシャルオプションとして本体同時受注で、工場にて組込取付工事の上で本体と共に納入致します。本体納入後に液体窒素トラップを受注する場合は、本体を工場に引き上げて、工場で取込付工事の上で本体と共に再納入致します。

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