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特長 STRONG POINT

JEC-3000FC オートファインコーター
走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
  • アルゴンガスパージ機能を利用することで、効率の良いスパッタリングができます。
  • 陰極に永久磁石を内蔵させ、効率の良いグロー放電によるスパッタリングを行うことができます。
  • 操作が簡単で、かつ短時間で粒状性に優れたコーティングが行えます。

仕様 SPEC

スパッタリング方式 マグネトロン形
使用圧力 20Pa以下
スパッタリング電流 10、20、30、40 mA
ターゲット 白金(Pt)標準 Au、Au-Pd、Pt-Pdオプション
試料台 直径64 mm
真空チャンバー 外径120 mm×高さ100 mm、ガラス製
真空モニター ピラニ真空計(タイマー表示と兼用)
タイマー デジタル表示(1~300秒)
ガスコントロール 組込み
アルゴンガスパージ機能 組込み
高圧安全回路 組込み
排気系 直結形ロータリーポンプ 100L/min(過温度保護機能組込み)
所要電源 単相100V、50/60Hz、800VA
寸法・質量 本体 350(W)×380(D)×290(H)mm、11kg
ロータリーポンプ 225(W)×525(D)×320(H)mm、23kg
設置室条件 25±5℃


オプション

試料回転傾斜装置(EC-30020RTS)
試料の凹凸による回り込み不足を改善することができます
回転速度 50±10rpm(モーター駆動)
傾斜角度 水平~90°(手動)
試料ホルダー 12.5mmφ、4個用/32mmφ、1個用
電源 AC100V、50/60Hz、30VA
適用機種 JEC-3000FC オートファインコーター
構成 本体 1台、ガラスシリンダー 1個、付属品 1式
試料回転傾斜装置(EC-30020RTS)


※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

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