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特長 STRONG POINT

JEC-4000DS 試料ホルダ予備排気装置
JEC-4000DSは、透過電子顕微鏡(TEM)の試料ホルダを、真空中に保持するホルダステーションです。真空排気系は、冷却水不要のターボ分子ポンプ(TMP)を用いてドライな環境を実現し、試料ホルダを常にクリーンな状態に保つことができます。
  • 大気等からのガスの吸着を防ぐことができます
  • 試料ホルダの着脱や取り扱いは、誤操作のない簡単操作
  • 試料ホルダの焼だし機構付き
  • 試料ホルダに試料をつけたまま真空中に保存可能。
  • 大きなのぞき窓により、ホルダ先端を観察・確認できます。

仕様 SPEC

到達圧力 5×10-4 Pa
主排気ポンプ ターボ分子ポンプ 約 55 L/sec (N2
補助排気ポンプ ロータリポンプ 約 40 L/min
ベイキング機能 組込み
ホルダ装着数 3本
適用試料ホルダ EM-21010 (SCSH)
および同形状の試料ホルダ
電源

単相 AC 100-120V、50/60Hz、 0.7kVA

寸法、質量 本体:幅 420×奥行 330×高さ 380(mm)、 約20kg
ロータリポンプ:幅 150×奥行 430×高さ 230(mm)、 約 16kg
室温 20±5 ℃
湿度 60 %以下
使用ガス 窒素ガス(チャンバのベントに使用する場合)
導入ガス圧力 0.01~0.02 MPa (1.0~2.0 kg/cm2
適用チューブ 外径 4 mm
※窒素ガス,ガスボンベおよびレギュレータはお客さまにてご準備ください。
 

構成

試料ホルダ予備排気装置基本体 [EC-40000BU] 1式
①本体 1 式
②ロータリポンプ 1式(オイルミストトラップ含む)
③金属排気管 1 式
④附属品 1 式
※本仕様は改良等のため、予告なく変更することがあります。

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