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特長 STRONG POINT

JEM-2800 ハイスループット電子顕微鏡
JEM-2800は優れたユーザビリティーを有しつつ、
高分解能観察と高速分析を両立したTEM/STEM装置です。

SEMをはじめとする試料に適した多様な観察モードの実現

新設計の光学系により高分解能観察とハイスループット分析を両立させました。JEM-2800は透過像(TEM)、走査透過像(STEM)、二次電子像、電子回折の観察モードの切り替えが瞬時にでき、明るい部屋での像観察を実現しました。また、走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。これらの機能により、オペレーターは目的に応じて、試料の広範囲の構造からサブナノメートルの格子像まで希望の観察モードで容易に全ての像を取得できます。

自動機能とユーザーナビゲーションに効率の良い操作環境

電子顕微鏡の観察に必要な操作の自動機能(コントラスト&ブライトネス、試料高さ(Z)調整、結晶方位合わせ、フォーカス、非点収差補正)を積極的に採用しました。これらの機能により、オペレーターの習熟度に依存しない再現性のある結果の取得を可能としました。

また、ターボ分子ポンプの標準装備により試料交換の時間を短縮し、試料ホルダ挿入後、約30秒で観察を開始できます。

さらに、初心者でも安心して確実に操作することができるように、データ取得に必要な操作ガイドと動画が組み込まれたオペレーターアシストシステムJEM-Navi™を標準搭載しています。

大面積100mm²SDDによる高速分析(Dual SDD対応)

ハイスループット観察のみならず、ハイスループット元素分析も可能です。日本電子製の大面積100mm² シリコンドリフト検出器(Silicon Drift Detector:SDD)※1を搭載することにより、電子顕微鏡の性能を損なうことなく大きな立体角が得られ、従来のスピードをはるかに上回る高効率なX線分析が可能となりました。また、JEM-2800では短時間で確実な分析結果を得るために、試料や分析法に応じた最適な電子プローブ径を選択することができます。

※1 オプション

データの統合管理と報告書作成支援

多くのユーザーのニーズに応えて、迅速な解析結果の報告ができるようデータ管理のトータルシステムを用意しています。JEM-2800で取得した画像及び分析データはLAN経由でデータ統合管理ソフト(Image Center※2)へ自動的に送られます。さらにClient PC からアクセスして測長(Image Excite※2)や粒子解析(Region Gauge Center※2)を効率よく実行することができ、データ整理ソフト(Image Import※2)により報告書を容易に作成することができます。

※2 株式会社システムインフロンティア製

仕様 SPEC

分解能
二次電子像(edge to edge) ≦0.5nm(加速電圧200kV)
走査透過像 0.16nm(加速電圧200kV)
透過像(格子像) 0.1nm(加速電圧200kV)
倍率(24インチワイドLCD上)
二次電子像 X100~X150,000,000
走査透過像 X100~X150,000,000
透過像 X500~X20,000,000
電子銃
電子銃 ショットキー電界放出形電子銃
加速電圧 200kV、100kV
試料系
ステージ ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ
試料サイズ 3mmΦ
最大傾斜角 X軸:±20°  Y軸:±25°(2軸傾斜ホルダ使用時)
移動範囲 X,Y:±1mm  Z:±0.2mm(モータ駆動)
*ピエゾ駆動対応(X,Y)
オプション
主な装着可能オプション エネルギー分散形X線分析装置(EDS)
電子線エネルギー損失分光器(EELS)
デジタルCCDカメラシステム
TEM/STEMトモグラフィーシステム

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