JSM-5510/5510LV 汎用形SEM** この製品は販売を終了しています **

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特長 STRONG POINT

JSM-5510/5510LV 汎用形SEM
SEMの制御から画面の表示、記録までの操作をマウスでできるPC SEMです。充実したオート機能と簡単に最適条件を設定することができるレシピ機能および簡易DTP機能(オプション)により真空排気、像観察、レポート作成までの一連の作業を効率よく行えます。またズームコンデンサレンズは、高分解能観察とEDSによる元素分析時、プローブ電流を変えてもフォーカスと観察位置が変わらず、使いやすい高性能光学系です 。

仕様 SPEC

分解能 3.5 nm
加速電圧 0.5~30kV(53段切換)
倍率 ×18~300,000
試料寸法 150mmφ(最大)
試料移動 X方向:20mm Y方向:10mm
Z方向:5~48mm、傾斜:-10゜~90°
回転:360°

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