TCN50X アクティブ 除振器床振動を原因とする像障害を効果的に改善します

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特長 STRONG POINT

TCN50X アクティブ 除振器
アクティブ除振器TCN50Xは、装置の性能に影響を与える有害な床振動を効果的に減衰し、鮮明な像観察を可能とします。

各除振器に内蔵する振動センサーからの信号をコントローラーにてデジタル演算し、アクチュエーターに出力し鏡筒部に伝わる振動を減衰します。

自由度アクティブ制御により共振周波数が存在せず優れた除振性能を発揮します

高性能DSPを採用したデジタル制御により幅広い周波数帯域でレスポンスのよい除振効果を発揮します

さらに除振性能を高めるフィードフォワード制御を組込み済みです

ビルトイン型のため本体装置の操作性やレイアウトに影響を与えません

適用機種
JSM-6***/7***シリーズ、JXA-8530F、JAMP-9500F

本体装置設置箇所の床振動特性(周波数・振幅)によっては、アクティブ除振器の特性が発揮できず像の改善効果が得られない場合もあります。詳細は弊社営業・サービス担当者にお問い合わせください。

仕様 SPEC

有効除振周波数 0.5Hz~
除振性能@10Hz -20dB以上
許容バネ上荷重 1000kg(マウント4個1組)
必要空気圧力 0.6MPa以上
空圧ホース径 6mm
駆動電圧・電流 100-230V 2.5A

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