半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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透過電子顕微鏡を用いた試料の内部と表面の同時観察
EM2022-05
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2021年度に最も見られたアプリケーションノート(電子顕微鏡関連)
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2021年度に最も見られたアプリケーションノート(核磁気共鳴装置 / 電子スピン共鳴装置 )
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2021年度に最も見られたアプリケーションノート (質量分析計)
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2021年度に最も見られたアプリケーションノート
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Solid-State Battery Note
Solid-State Battery Note
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4D-STEMとSTEM-EELSを用いたFinFETのplan-view観察
EM2022-01
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磁性ナノ粒子と超常磁性共鳴 (4) *** 磁性ナノ粒子・流体の磁気緩和 ***
ER210008
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磁性ナノ粒子と超常磁性共鳴 (3) *** 磁性ナノ粒子の平行励起スペクトル ***
ER210007
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磁性ナノ粒子と超常磁性共鳴 (2) *** 磁性ナノ粒子の構造と電子状態 ***
ER210006
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磁性ナノ粒子と超常磁性共鳴 (1) *** 物質の大きさと物性 ***
ER210005
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GC-QMS アプリケーションノートブック 材料および関連規制物質分析
2021年12月版
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高分子材料分析 ガイドブック
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デュアルモードキャビティー (ES-14040DMC) のご紹介
ER210003
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Mn (III) ポルフィリン錯体の禁制遷移の観測
ER210004
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知って活用!!GC-MS ガイドブック
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鉛フリーはんだと銅の接合面の三次元元素マッピング
IB2021-03
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2020年度に最も見られたアプリケーションノート
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ボンディングワイヤーの断面試料作製
IB2021-02
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FIB-SEMによるFin FETデバイスのTEM試料作製
IB2021-01
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プリント基板断面:機械研磨とCP加工の比較
SM2021-02
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JSM-7900F/EBSD ホチキスの針の物理学
SM2021-01
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SIM像によるIRカットフィルターの三次元欠陥解析
IB2020-06
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SEM-EDSによる金属部品の広域測定
MP2021-01
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光と電子の強い相互作用(6) *** 結合強度と線幅の関係 ***
ER200011