半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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試料の精密断面加工における新提案
EQ15
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強磁性薄膜とスピン流 (3) - サンプリングの例 -
ER190004
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強磁性薄膜とスピン流 (2) - 逆スピンホール効果の測定 -
ER190003
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強磁性薄膜とスピン流 (1) - FMRで垣間見えるスピン流効果 -
ER190002
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強磁性薄膜とスピン流 (6) - VISHEの角度依存測定 -
ER190007
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強磁性薄膜とスピン流 (5) - FMRの角度依存測定 -
ER190006
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強磁性薄膜とスピン流 (4) - 逆スピンホール効果のパワー依存測定 -
ER190005
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卓上走査電子顕微鏡 JCM-7000 アプリケーションの紹介
MP2019-001
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PECVDチャンバー内の反応ガス分析 ～高質量分解能TOFMSを用いた反応モニタリング～
MSTips No.281
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JEOL GC-MS 前処理法ガイドブック
ますます拡がるGC-MSアプリケーション
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電解ESR – 電解時間と電圧依存性 –
ER180012
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電解ESR – 支持電解質量依存性 –
ER180013
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材料のESR – 塗料の劣化評価 ④ -
ER180010
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材料のESR – 塗料の劣化評価 ③ -
ER180009
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材料のESR – 塗料の劣化評価 ① -
ER180007
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材料のESR – 塗料の劣化評価 ② -
ER180008
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JEOL NEWS Vol.53
JEOL NEWS Vol.53/ July 2018
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日本電子news Vol.49
日本電子news Vol.49 2017年5月号
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ① -
ER170007
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成膜加工に利用される電子ビーム蒸着の最新技術
日本電子news Vol.49 No.8
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材料のESR – 半導体 ① -
ER170006
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日本電子news Vol.50
日本電子news Vol.50 2018年5月号
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電子ビーム描画装置JBX-8100FSの開発
日本電子news Vol.50 No.9
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電子線トモグラフィーによる半導体材料の解析
日本電子news Vol.50 No.6
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高分子材料の解析におけるESRの活用
日本電子news Vol.50 No.4