半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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材料のESR – 半導体 ① -
ER170006
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ④ -
ER180001
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ⑤ -
ER180002
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ベースラインの歪み ‐ 夾雑成分の評価 -
ER180006
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ベースラインの補正 - 定量の際の注意 -
ER180005
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ③ -
ER170009
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ② -
ER170008
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JEOL質量分析計 イオン化法ガイドブック
バラエティ豊かなイオン化法で拡がる質量分析アプリケーション
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GC-MS Application: GC-MS法によるシリコンウェハ表面からの発生ガス分析
MSTips No.253
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材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ① -
ER170007
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ガス分析ソリューション
Gas analysis
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GC-TOFMS Application: TG-MSによる酸化防止剤の熱分解挙動の検討 ーTG-TOFMSシステムによる精密質量解析例のご紹介ー
MSTips No.250
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GC-TOFMS Application: TG-MSによるフッ素樹脂の定性分析 ーTG-TOFMSシステムによる高質量域測定例のご紹介ー
MSTips No.249
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GC-MS Application: 熱分解 GC-MS法によるシリコンゴム中の低分子環状シロキサンの分析
MSTips No.247
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セラミックス積層膜の原子レベル解析
高感度EDS検出器搭載JEM-ARM200Fを用いて
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広温域HXMASプローブのご紹介
NM160008
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GRAND ARMにおける超高感度EDS分析システムの開発
日本電子news Vol.47 No.7
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分野別にみるEPMA分析手法～凹凸試料から微量炭素分析まで～
日本電子news Vol.47 No.8
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FIB薄膜試料のイオンスライサ仕上げ法
日本電子news Vol.47 No.9
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AccuTOF GC シリーズ石油化学アプリケーションノートブック
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AccuTOF GC シリーズ材料・化学アプリケーションノートブック
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DART Application: DARTとアンビエントイオン化法にとって理想的な構造を持ったAccuTOF™ LCシリーズの大気圧インターフェース
MSTips No.221
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誘電損失の大きい試料用セルのご紹介
ER160001
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新型NMR装置JNM-ECZシリーズ分光計
日本電子 news Vol.46 No.9
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極低温プローブ 「UltraCOOL プローブ/SuperCOOL プローブ」
日本電子 news Vol.46 No.8