半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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JEM－2800ハイスループット電子顕微鏡の開発
日本電子News Vol.43, 2011
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ブロードアルゴンイオンビームを用いた高分子材料の断面作製
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材料のESR－炭素－
ER110001
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FIBによるTEM試料作製法：リフトアウト法
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Preparation of High Quality Cross Section of Bone Tissue for SEM：Application of Cross-section Polisher to Biological Specimen
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高出力内蔵形プラズマ銃の応用例：プラズマアシスト蒸着による光学薄膜作製例
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DeviceNet搭載のRF電源/自動整合装置
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High-power Electron Beam Source used for Melting Metal Materials ：Vacuum melting furnace for polycrystalline silicon refinement
JEOLnews Volume 43, Number 1, 2008
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Applications of High-Power Built-in Plasma Gun：The example of optical thin-film production by plasma assisted vapor deposition.
JEOLnews Volume 37E, Number 1, 2002
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イオンスライサによる試料作製技術4:小さいサイズの試料作製法
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FIB による試料作製概要
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イオンスライサによる試料作製技術3:粉体試料作製法
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FIB の加工特性：加工ダメージ
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広領域 SEM/EBSD 法の確立
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イオンスライサによる試料作製技術2：半導体デバイスの試料作製
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JEM-2100: Applications in Nanotechnology
JEOLnews Volume 45, Number 1, 2010
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極低温電子顕微鏡の単粒子解析への応用
日本電子News Vol.42, 2010
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超高分解能STEMによる複雑化合物の局所解析
日本電子News Vol.42, 2010
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Lithium Atom Microscopy at Sub-50pm Resolution by R005
JEOLnews Volume 45, Number 1, 2010
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Atomic-Resolution Elemental Mapping by EELS and XEDS in Aberration Corrected STEM
JEOLnews Volume 45, Number 1, 2010
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Application of a Helium-Cooled Cryo-Electron Microscope for Single Particle Analysis
JEOLnews Volume 45, Number 1, 2010
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Ultrahigh-Resolution STEM Analysis of Complex Compounds
JEOLnews Volume 45, Number 1, 2010
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FIB の像コントラスト
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イオンスライサによる試料作製技術：バルク試料作製法
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FIB の概要