半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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光と電子の強い相互作用(4) ＊＊＊ 透過型ESR・FMR測定法 ＊＊＊
ER200009
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CPとFIBによる断面試料作製
IB2020-05
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FIBによる断面試料作製とSIM像のコントラスト
IB2020-04
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光と電子の強い相互作用(3) ＊＊＊ 強磁性薄膜の『 強結合 』状態 ＊＊＊
ER200008
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光と電子の強い相互作用(2) ＊＊＊ 光子とスピンの相互作用の4状態 ＊＊＊
ER200007
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光と電子の強い相互作用(1) ＊＊＊ 過剰なスピンが及ぼす影響 ＊＊＊
ER200006
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試料作製をサポートするソフトウェア機能
IB2020-03
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全固体電池の大気非曝露環境TEM試料作製
IB2020-01
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Handbook of Soft X-ray Emission Spectra Version 7.0 (Dec. 2021)
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電解ESR – 支持電解質量依存性 –
ER180013
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電解ESR – 電解時間と電圧依存性 –
ER180012
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電解 ESR – p-Benzoquinone アニオンラジカルの生成 -
ER190008
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電解ESR – p-Benzoquinone アニオンラジカルの電圧依存性 -
ER190009
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AccuTOF™ GCシリーズ 材料・化学アプリケーションノートブック
2021年7月版
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材料のESR－顔料 (1)
ER200002
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金メッキ電極上の変色分析
MP2020-04
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2019年度に最も見られたアプリケーションノート
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試料の精密断面加工における新提案
EQ15
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強磁性薄膜とスピン流 (3) - サンプリングの例 -
ER190004
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強磁性薄膜とスピン流 (2) - 逆スピンホール効果の測定 -
ER190003
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強磁性薄膜とスピン流 (1) - FMRで垣間見えるスピン流効果 -
ER190002
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半導体封止材シリカフィラーの三次元粒度分布解析
IB2019-10
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セラミックコンデンサー内部ボイドの三次元可視化
IB2019-09
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高分解能観察のための高品質TEM試料作製
IB2019-08
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平面観察と断面観察のためのTEM試料作製
IB2019-07