半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
-
TEMによる品質管理検査のための試料作製
IB2019-06
-
IRカットフィルターの欠陥解析
IB2019-04
-
TFT液晶パネルコンタクトプラグの断面観察
IB2019-03
-
ワイヤーボンディング接合部の断面観察
IB2019-01
-
強磁性薄膜とスピン流 (6) - VISHEの角度依存測定 -
ER190007
-
強磁性薄膜とスピン流 (5) - FMRの角度依存測定 -
ER190006
-
強磁性薄膜とスピン流 (4) - 逆スピンホール効果のパワー依存測定 -
ER190005
-
卓上走査電子顕微鏡 JCM-7000 アプリケーションの紹介
MP2019-001
-
JEOL GC-MS 前処理法ガイドブック
ますます拡がるGC-MSアプリケーション
-
材料のESR – 塗料の劣化評価 ④ -
ER180010
-
材料のESR – 塗料の劣化評価 ③ -
ER180009
-
材料のESR – 塗料の劣化評価 ① -
ER180007
-
材料のESR – 塗料の劣化評価 ② -
ER180008
-
JEOL NEWS Vol.53
JEOL NEWS Vol.53/ July 2018
-
日本電子news Vol.49
日本電子news Vol.49 2017年5月号
-
材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ① -
ER170007
-
成膜加工に利用される電子ビーム蒸着の最新技術
日本電子news Vol.49 No.8
-
材料のESR – 半導体 ① -
ER170006
-
日本電子news Vol.50
日本電子news Vol.50 2018年5月号
-
電子ビーム描画装置JBX-8100FSの開発
日本電子news Vol.50 No.9
-
電子線トモグラフィーによる半導体材料の解析
日本電子news Vol.50 No.6
-
高分子材料の解析におけるESRの活用
日本電子news Vol.50 No.4
-
材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ④ -
ER180001
-
材料のESR - 電気検出磁気共鳴 ⑤ -
ER180002
-
ベースラインの歪み ‐ 夾雑成分の評価 -
ER180006