半導体分野においてもパターン作製、プロセスのモニター、不良解析、パッケージングなどの工程に対して、日本電子製の電子ビーム描画装置やSEM、FIB、TEMが使われています。また、各種電子部品に関しても開発から製品検査まで同様にSEM、FIB、TEMが使われています。
製品ラインナップ
アプリケーションノート APPLICATION NOTE
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半整数四極子核の感度増大法: QCPMG
NM130001
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QBaseによる金属材料の判定
ステンレス、銅合金への適用
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Niメッキ分析ソフトウェア(RoHS)：蛍光X線分析装置JSXシリーズ
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RoHSスクリーニング：蛍光X線分析装置JSXシリーズ
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磁石の蛍光Ｘ線分析：フェライト磁石の比較
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Snメッキ分析ソフトウェア(RoHS)：蛍光X線分析装置JSXシリーズ
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High Resolution Imaging and Spectroscopy Using CS-corrected TEM with Cold FEG JEM-ARM200F
JEOLnews Volume 47, Number 1, 2012
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Adapting a JEM-2100F for Magnetic Imaging by Lorentz TEM
JEOLnews Volume 47, Number 1, 2012
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Electron Microscopic Study and X-ray Probe Microanalysis of the Liver of LEC Rat, an Animal Model of Wilson Disease
JEOLnews Volume 47, Number 1, 2012
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大気非曝露条件下での断面試料作製：リチウムイオン電池材料への応用例
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FIBによるTEM試料作製法：ダメージ除去手法
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FIBによるTEM試料作製法：バルクピックアップ法
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半整数四極子核NMRの感度向上法：DFSとRAPT
NM120014
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CPMG観測による29Si 固体NMRスペクトルの高感度測定;29Si-1H HETCORおよび29Si DQMASへの応用
NM120013
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試料回転の高速化と静磁場の高磁場化の1H NMRへのインパクト
NM120011
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超高感度8mm MASプローブを用いた天然存在比での15N solid-state NMR測定のご紹介
NM120010
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非常に高感度な極低温プローブUltraCOOLプローブのご案内
NM120007
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Liイオン電池材料のLi (リチウム) が検出できます
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Homonuclear covariance transformation in solid-state NMR!
NM120006
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外部標準法による定量NMR
NM120004
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新しいESR装置 JES-X3シリーズ
ER120003
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新型マグネットのご紹介
NM120003
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MAGIC SHIMMING:固体NMR自動シミング法 特別なハードウェアは一切不要です！
NM120002
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110 kHz MAS solid-state NMR
NM120001
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電子ビーム描画装置JBX-3200MV/JBX-3050MV/JBX-9500FS/JBX-6300FS