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  • 暗視野像

    dark-field image

    [目次:理論]

    対物レンズの後焦点面上に形成される回折図形中の1個の回折波を対物絞りで選んで結像した像。選んだ回折波が起こっている試料上の場所が像の上で明るく見える。明視野像とともに、格子欠陥の解析や試料の膜厚測定に利用される。

    An image that is produced by one diffracted wave in a diffraction pattern formed on the back focal plane of the objective lens, using the objective aperture. A location in the image, where the selected diffracted wave takes place, appears bright. The dark-field image, together with the bright-field image, is used for analysis of lattice defect and measurement of specimen thickness.

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