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  • 非点収差(軸上)

    axial astigmatism

    [目次:レンズ系]

    電磁レンズ(対物)が完全な軸対称性を持たないことに起因して円状の光源の像が楕円になる収差。この収差はレンズのポールピースの孔の非対称(真円でない)、材質の磁気的不均質、絞り等への帯電などによって生じる。

    If an electromagnetic lens (objective lens) does not have perfect axial symmetry, a circular image of the light source (electron source) deforms to an ellipse image. This aberration is called "axial astigmatism." The axial aberration arises from asymmetry of the polepiece bore of the lens, magnetic non-uniformity of the polepiece material, charging on the aperture, etc.

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