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  • シュノーケル形対物レンズ

    snorkel objective lens

    [目次:装置]

    超高分解能SEM用の対物レンズの一種。ヨークの開口部を、光軸に沿った部分ではなく試料側に作ると、対物レンズ下部の空間にレンズ磁界を作ることができる。その中に試料を置くようにすると、対物レンズの収差を小さくすることができるが、インレンズ形対物レンズと違って、大きな試料を扱うことができる。作動距離を短くすれば高解像力が得られ、作動距離を長くすれば、試料の大角度傾斜が可能である。セミインレンズ形対物レンズとも呼ばれるが、二次電子の検出にはTTL検出器が用いられる。なお語源は、最初に作られたレンズが、平面状の外側ヨークに対して、内側ヨークがダイビングで使われるシュノーケルのように突き出していたことによる。内側ヨークの上部空間に試料を置くというのが、元々のアイディアであり、現在のものは上下が逆転している。

    シュノーケル形対物レンズ

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