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  • スキャンローテーション(ラスターローテーション)

    scan rotation,raster rotation

    [目次:装置]

    電子プローブの走査方向を変えることで、SEM像を画面上で回転させる機能。試料ステージの回転とは異なり、画面の中心に対して回転をするので視野ズレは起きない。また、試料の回転を行った場合と違って、試料に対する観察方向、検出器の照明方向は変わらない。

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