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  • ストロボSEM

    stroboscopic SEM

    [目次:装置]

    試料上で起きる周期現象を観察するため、その周期に合わせてパルス状の電子プローブを間欠的に照射したり、信号の取り込みを間欠的に行う機能を持つSEM。電位コントラストと組み合わせてデバイスの動作を観察するのに多く用いられる。

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