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  • スピン偏極SEM(スピンSEM)

    spin-polarized SEM,spin SEM

    [目次:装置]

    磁性体試料の場合、二次電子はスピン磁気モーメントの情報を持って放出される。これを検出することで磁化情報をSEM像とするのがスピン偏極SEMである。情報深さは1nm程度と極めて浅いため、試料表面は清浄にする必要があり、超高真空の試料室が使われる。検出効率が極めて低いため画像を作るには長時間が必要であるが、ほかの磁区観察法に比べて高い解像力が得られる。

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