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  • ターボ分子ポンプ(ターボモレキュラーポンプ)

    TMP turbo molecular pump

    [目次:装置]

    円筒の周囲に多数の金属翼を斜めに取り付け、その円筒を高速回転させることで気体を圧縮し、排気するポンプ。動作圧力は10-7~1Pa程度であるが、油分子に対する圧縮率が高いので、オイルフリーな環境が作りやすい。油拡散ポンプと違って、冷却水が要らない、予備加熱の時間が要らない、などの利点がある。

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