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  • 二次電子検出器

    SED secondary electron detector,SE detector

    [目次:装置]

    試料から放出された二次電子を検出するための検出器。最も多く使われているのは、ET検出器を基本としたもので、シンチレータと光電子増倍管で構成されている。対物レンズの形式によって、アウトレンズ検出器とTTL検出器の2種類があるが、二次電子検出器は照明装置に相当するので、SEM像のコントラストはその取り付け位置に大きく依存する。なお最近では、二次電子検出器の前に複数の電極を置き、その電圧を制御することで検出する電子のエネルギーを選択できるものが出てきている。ET検出器のほかマイクロチャンネルプレートを用いたものもあり、それぞれ特徴がある。

    二次電子検出器

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