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  • 仕切り弁(エアロック弁,ゲート弁)

    airlock valve,gate valve,isolation valve

    [目次:装置]

    二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉するものと真空動作に伴って自動的に開閉するものがある。

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