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  • 弾性散乱

    elastic scattering

    [目次:理論]

    エネルギーを失わずに、進行方向のみを変える電子の散乱。
    入射電子の中には試料表面近くで数回の散乱を経て、エネルギーを失わないまま入射点近傍から試料外に飛び出すものがある。

    Scattering of electrons without energy loss where the scattering electrons change only the travelling direction. Some incident electrons jump out from the specimen near the incident point without losing their energy after several scatterings near the surface of the specimen.

  • 非弾性散乱

    inelastic scattering

    [目次:理論]

    エネルギーの損失を伴う電子の散乱。
    入射電子がエネルギーを失う過程には、散乱の際に起こすX線の励起、二次電子やオージェ電子の発生、発光(カソードルミネッセンス(CL))がある。

    Scattering of electrons with energy loss.
    The energy loss of incident electrons arises from generation of X-rays, secondary electrons, Auger electrons, cathodoluminescence (CL), etc.

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