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  • 汎用形FE-SEM

    general purpose FE-SEM,conventional FE-SEM

    [目次:装置]

    FE電子銃とアウトレンズ形対物レンズを組み合わせたSEM。FE-SEMとしては最も歴史が長く、多く用いられている。解像力は数nm、実用的な倍率としては5~10万倍が得られる。

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