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  • 汎用形SEM

    general purpose SEM,conventional SEM

    [目次:装置]

    熱電子銃とアウトレンズ形対物レンズを組み合わせたSEM。SEMとしての歴史は最も長く、最も多く用いられている。解像力は5nm程度、実用的な倍率としては数万倍が得られる。

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