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  • オートフォーカス(自動焦点合わせ)

    automatic focusing

    [目次:装置]

    自動的に焦点を合わせる機能。カメラのオートフォーカスと同様に、画像信号の鮮鋭度を検出するコントラスト検出方式が使われている。

  • 焦点合わせ

    focusing

    [目次:装置]

    電子プローブを試料表面に集束すること。通常対物レンズの励磁を変えることで行うが、ラフな焦点合わせであれば、試料ステージを使って、試料を上下することで行うことも可能である。

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