キーワード「真空ポンプ」の検索結果
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真空ポンプ
vacuum pump
[目次：装置]
電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。
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電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。