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  • 真空蒸着装置

    vacuum evaporator

    [目次:試料作製]

    真空蒸着を行うための装置。真空隔壁としては内部が見えるようにガラス製のベルジャーが使われ、内部には蒸着源を支えるための電極棒、試料表面をカバーするシャッタなどが置かれている。排気系としては油拡散ポンプが使われるのが普通であるが、ターボ分子ポンプが使われる場合もある。

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